硅基MEMS低通滤波器
所属分类：
MEMS器件
产品描述
MEMS滤波器具有自主知识产权，利用离子刻蚀腔体工艺、三维金属互连、衬底键合等MEMS工艺手段实现，具备小型化、高性能、、高可靠性、一致性好、易集成的特点，频段由1GHz覆盖至太赫兹，目前已形成近千款货架产品，100%全部经过射频性能测试。其中MEMS表贴滤波器采用高Q值基片集成波导结构，具有低插损、小体积、高带外抑制的优势，可采用倒扣焊的方式安装，已成功通过5G通讯供应商的系统级验证，广泛应用于5G基站。
以上各种类型MEMS滤波器均可接受用户定制。
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