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吾秀吾“芯” | 芯片制造的光影艺术——光刻掩膜版

日期:2018-03-19 14:19

光刻掩膜版是什么

 

半导体制造过程中,要在晶圆表面光刻、刻蚀出一个个电路元器件图形,光刻掩膜版就是光刻步骤中最重要的“道具”之一。光刻掩膜版是一块优质玻璃板,上面用感光材料“画出”电路图形,它的作用就像“大雄”的面罩,在光照下,有些光被感光材料“阻挡”,其他光则顺利通过掩膜版,到达下面的晶圆。这样,晶圆上就留下了电路图形的“影子”,晶圆上事先涂覆的光刻胶(正胶)在光照的作用下溶解,电路图形就这样“晒”出来了,就像月亮在“大雄”脸上晒出来了一样。

 

 

光刻掩膜版很重要

 

可别小看了这一张张薄薄的掩膜版,它们可是整个半导体制造流程中最关键的部分之一,在半导体制造过程中,需要经过十几乃至几十次的光刻,每次光刻都需要一块光刻掩膜版,每块光刻掩膜版的质量都影响到光刻图形的质量,也就影响到芯片电路的性能。

 

 

 

光刻掩膜版也是半导体制造流程中造价最高的部分之一,尤其是大规模集成电路,图形十分复杂,需要价格昂贵的基本原料和制版设备,还需要配备精密的计算机辅助制版系统,每个环节都需要大量的技术、资金和人力。

 

而且,光刻掩膜版的用于远不止半导体制造,还广泛应用于平板显示、LED照明等行业中。

 

光刻掩膜版诞生记

第一步:设计

把电路版图转换为掩膜版版图,根据电路规模不同,一套掩膜版版图可能包含几张至几十张。

 

第二步:制造

经过复杂的处理后,版图将被转换为数据,将这些数据输入曝光设备,设备就会按照设计好的图形对基板进行曝光,再通过显影、刻蚀、清洗等工艺,基板上就有了电路图形,掩膜版也就制造完成了。

 

 

第三步:测量与检测

掩膜版制造完成后,还要进行精密的尺寸测量和缺陷检查,确保掩膜版的质量。

 

五十五所的光刻掩膜版制造技术

 

五十五所是国内最早从事掩膜版制造的单位,经过几十年的发展,积累了丰富的制版经验,已经发展成为国内规模较大、技术先进的集研究、设计、生产、销售于一体,专业制作高精度掩膜版的企业之一,产品涵盖了石英掩膜版及苏打掩膜版等各类掩模版。目前,五十五所正在进行产品优化升级,努力朝着国际一流的掩膜版供应商前进的道路迈出!

 

如有光刻掩膜版制作方面的需求,请和制版部人员联系哦!

业务咨询请发送邮件至zbb@nedi.cn。

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