吾秀吾“芯” | 芯片制造的光影艺术——光刻掩膜版
吾秀吾“芯” | 芯片制造的光影艺术——光刻掩膜版
发布时间：
2018-03-19
光刻掩膜版是什么
半导体制造过程中，要在晶圆表面光刻、刻蚀出一个个电路元器件图形，光刻掩膜版就是光刻步骤中最重要的“道具”之一。光刻掩膜版是一块优质玻璃板，上面用感光材料“画出”电路图形，它的作用就像“大雄”的面罩，在光照下，有些光被感光材料“阻挡”，其他光则顺利通过掩膜版，到达下面的晶圆。这样，晶圆上就留下了电路图形的“影子”，晶圆上事先涂覆的光刻胶(正胶)在光照的作用下溶解，电路图形就这样“晒”出来了，就像月亮在“大雄”脸上晒出来了一样。
光刻掩膜版很重要
可别小看了这一张张薄薄的掩膜版，它们可是整个半导体制造流程中最关键的部分之一，在半导体制造过程中，需要经过十几乃至几十次的光刻，每次光刻都需要一块光刻掩膜版，每块光刻掩膜版的质量都影响到光刻图形的质量，也就影响到芯片电路的性能。
光刻掩膜版也是半导体制造流程中造价最高的部分之一，尤其是大规模集成电路，图形十分复杂，需要价格昂贵的基本原料和制版设备，还需要配备精密的计算机辅助制版系统，每个环节都需要大量的技术、资金和人力。
而且，光刻掩膜版的用于远不止半导体制造，还广泛应用于平板显示、LED照明等行业中。
光刻掩膜版诞生记
第一步：设计
把电路版图转换为掩膜版版图，根据电路规模不同，一套掩膜版版图可能包含几张至几十张。
第二步：制造
经过复杂的处理后，版图将被转换为数据，将这些数据输入曝光设备，设备就会按照设计好的图形对基板进行曝光，再通过显影、刻蚀、清洗等工艺，基板上就有了电路图形，掩膜版也就制造完成了。
第三步：测量与检测
掩膜版制造完成后，还要进行精密的尺寸测量和缺陷检查，确保掩膜版的质量。
五十五所的光刻掩膜版制造技术
五十五所是国内最早从事掩膜版制造的单位，经过几十年的发展，积累了丰富的制版经验，已经发展成为国内规模较大、技术先进的集研究、设计、生产、销售于一体，专业制作高精度掩膜版的企业之一，产品涵盖了石英掩膜版及苏打掩膜版等各类掩模版。目前，五十五所正在进行产品优化升级，努力朝着国际一流的掩膜版供应商前进的道路迈出!
如有光刻掩膜版制作方面的需求，请和制版部人员联系哦!
业务咨询请发送邮件至zbb@nedi.cn。
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